Сверхнизкошумные SiN-трамплинные резонаторы для сенсоров и оптомеханики
Ultralow-Noise SiN Trampoline Resonators for Sensing and Optomechanics
2016-04-01
SCID: 54.1/4r3pqgeh
Discuss with AI
SiN трамплинные резонаторычувствительность к аттоньютоновым силамоптомеханикасенсинг при комнатной температуреультранизкий шум
Figures from the paper
Abstract (AI)
Точное измерение чрезвычайно малых сил важно во многих областях физики, материаловедения и инженерии. Авторы демонстрируют крошечные механические датчики в виде «трамплинов», обладающие исключительно высокой чувствительностью к аттоньютонным силам при комнатной температуре.
Key Findings
1
Демонстрированы механические резонаторы из нитрида кремния (SiN) в форме «трамплина».
2
Устройства применимы для высокоточного сенсинга и оптомеханики благодаря их исключительной чувствительности к силам.
3
Эти SiN-трамплины обладают ультранизким механическим шумом, обеспечивая чувствительность к силам на уровне аттонеьютонов при комнатной температуре.
Research Object
Силитридные (SiN) механические резонаторы в форме «батутов» с ультранизким уровнем шума
Research Subject
Чувствительность к силам и оптомеханические характеристики, в частности детекция сил порядка аттоньютона при комнатной температуре с помощью резонаторов-«батутов» с ультранизким уровнем шума
Publication Details
Publication Date
2016-04-01
Journal
Publisher
ISSN
Open access PDF
Access Type
Author Information
Download PDF
Subscribe to digest