Электромагнитная модель индуктивно связанной плазмы с расширенной областью расчёта
Extended-field electromagnetic model for inductively coupled plasma
2001-06-06
SCID: 54.1/9asydxj6
Discuss with AI
двумерная формулировка векторного потенциалавалидация осевого магнитного полярасширенная электромагнитная модельграничные условия дальнего поляиндуктивно связанная плазма
Figures from the paper
Abstract (AI)
Предложена двумерная (2D) формулировка модели с расширенной областью расчёта электромагнитного поля (EF) для индуктивно связанной плазмы. За счёт расширения расчётной области электромагнитного (ЭМ) поля за пределы области плазменного разряда граничные условия для векторного потенциала, используемые в стандартной (ST) двумерной модели, заменяются более простыми условиями на удалённой границе. Расширенная модель сходится быстрее стандартной формулировки и обеспечивает согласованные решения во всей расчётной области. Уравнения для векторного потенциала решаются совместно с соответствующими уравнениями неразрывности, движения и переноса энергии с использованием коммерческого программного комплекса FLUENT. Расчётная область для уравнений векторного потенциала значительно выходит за пределы области индукционной катушки, тогда как для всех остальных уравнений расчёты ограничены областью разряда внутри плазмозажимной трубки. Результаты расчётов сопоставляются с результатами, полученными с использованием стандартной двумерной модели. Различия между результатами двух моделей наблюдаются главным образом во входных областях потока и вблизи индукционной катушки. Для валидации EF-модели в центральной части области катушки размещается нагрузка с постоянной электрической проводимостью, после чего рассчитанный радиальный профиль осевого магнитного поля сравнивается с известными аналитическими решениями. Получено хорошее согласие результатов при неопределённости в пределах 1%.
Key Findings
1
Предложена двумерная модель электромагнитного поля с расширенной областью для моделирования индуктивно связанной плазмы.
2
Различия между результатами моделей наиболее заметны во входных областях потока и вблизи индукционной катушки.
3
Расширение области электромагнитного поля за пределы плазменного разряда заменяет стандартные граничные условия для векторного потенциала более простыми условиями дальнего поля.
4
Модель с расширенной областью сходится быстрее стандартной модели и обеспечивает согласованные решения во всей вычислительной области.
5
При валидации с центральной нагрузкой постоянной проводимости радиальный профиль осевого магнитного поля согласуется с аналитическими решениями в пределах неопределённости 1%.
Research Object
Разряд индуктивно связанной плазмы и его электромагнитное поле в плазменной разрядной трубке
Research Subject
Двумерное электромагнитное моделирование с расширенной областью поля, включая задание граничных условий, сходимость, согласованность вычислительной области и точность прогнозирования магнитного поля по сравнению со стандартной моделью и аналитическими решениями
Publication Details
Publication Date
2001-06-06
Journal
Publisher
ISSN
Open access PDF
Access Type
Author Information
Download PDF
Subscribe to digest