Применение технологии машинного зрения для выявления дефектов высокопроизводительных микросхем измерения фазового шума

Дефекты микросхем всегда являлись проблемой промышленного производства, а усиливающееся воздействие таких дефектов на окружающую среду повысило значимость их идентификации и выявления. Для решения экологических проблем, обусловленных дефектами микросхем в процессе производства, в настоящем исследовании применяется технология машинного зрения для выявления дефектов высокопроизводительных микросхем измерения фазового шума. Результаты показывают, что точность идентификации дефектов микросхем с помощью технологии машинного зрения достигает 98%. Объём образования органических отходящих газов снижается с 5968,0 т/год до 4000 т/год, объём образования органических сточных вод — с 5496 м³/сут до 4600 м³/сут, а объём образования твёрдых отходов — с 8000 т/год до 6500 т/год. Эти данные подтверждают, что технология машинного зрения обеспечивает автоматизацию, высокую эффективность контроля и высокую точность выявления дефектов в высокопроизводительных микросхемах измерения фазового шума. Кроме того, снижение количества дефектов микросхем уменьшает выбросы отходящих газов, сбросы сточных вод и образование твёрдых отходов в процессе производства микросхем, тем самым улучшая состояние окружающей среды.