Кремниевые и нитрид-кремниевые фотонные схемы для спектроскопического сенсинга на кристалле [Приглашённый доклад]

Silicon and silicon nitride photonic circuits for spectroscopic sensing on-a-chip [Invited]
Ananth Z. Subramanian, Eva Ryckeboer, Ashim Dhakal, Frédéric Peyskens, Aditya Malik, Bart Kuyken, Haolan Zhao, Shibnath Pathak, Alfonso Ruocco, Andreas De Groote, Pieter Wuytens, Daan Martens, François Léo, Weiqiang Xie, Utsav D. Dave, Muhammad Muneeb, Pol Van Dorpe, Joris Van Campenhout, Wim Bogaerts, Peter Bienstman, Nicolas Le Thomas, Dries Van Thourhout, Zeger Hens, Günther Roelkens, Roel Baets
2015-08-26

внутричиповые спектрометрыфотоника на основе нитрида кремниякремниевые фотонные схемыспектроскопическое зондированиеповерхностно-усиленная рамановская спектроскопия
В связи с этим быстро растёт спрос на использование интегральной кремниевой и нитрид-кремниевой (Si3N4) фотоники для сенсорных применений — от измерения показателя преломления до спектроскопического сенсинга. Благодаря применению передовой технологии CMOS сложные миниатюризированные схемы можно легко реализовывать в больших масштабах и при низкой стоимости в диапазоне от видимого до среднего инфракрасного (mid-IR) спектрального диапазона. В данной статье представлены наши последние результаты разработки кремниевых и основанных на Si3N4 фотонных интегральных схем для различных приложений спектроскопического сенсинга. Приведены результаты исследований поглощения в волноводах, а также рамановской спектроскопии и поверхностно-усиленной рамановской спектроскопии. Наконец, представлены спектрометры на кристалле и широкополосные источники света на кристалле, охватывающие диапазон от ближнего ИК до среднего ИК, для создания полностью интегрированных спектроскопических систем на одном кристалле. © 2015 Chinese Laser Press.
1
Он-чип спектрометры и широкополосные источники света, охватывающие диапазон от ближнего до среднего инфракрасного излучения, обеспечивают создание полностью интегрированных спектроскопических систем.
2
Интегрированная фотоника на основе кремния и нитрида кремния позволяет создавать миниатюрные, масштабируемые и недорогие сенсорные схемы с использованием передовой CMOS-технологии.
3
Представлены результаты разработки кремниевых и нитрид-кремниевых фотонных схем для различных спектроскопических сенсорных применений.
4
Представленные платформы поддерживают сенсорные применения в диапазоне от видимого до среднего инфракрасного излучения, включая измерение показателя преломления и спектроскопию.
5
Продемонстрированы волноводная абсорбционная спектроскопия, а также рамановская и поверхностно-усиленная рамановская спектроскопия на фотонных интегральных схемах.

фотонные интегральные схемы на основе кремния и нитрида кремния (Si3N4) для спектроскопического сенсинга на кристалле

возможности спектроскопического сенсинга, включая поглощение на основе волноводов, рамановскую и поверхностно-усиленную рамановскую спектроскопию, а также интегрированные спектрометры и широкополосные источники света в диапазоне от ближнего ИК до среднего ИК

Publication Details
Publication Date
2015-08-26
Journal
Publisher
ISSN
Access Type
Author Information
Authors
Ananth Z. Subramanian
Eva Ryckeboer
Ashim Dhakal
Frédéric Peyskens
Aditya Malik
Bart Kuyken
Haolan Zhao
Shibnath Pathak
Alfonso Ruocco
Andreas De Groote
Pieter Wuytens
Daan Martens
François Léo
Weiqiang Xie
Utsav D. Dave
Muhammad Muneeb
Pol Van Dorpe
Joris Van Campenhout
Wim Bogaerts
Peter Bienstman
Nicolas Le Thomas
Dries Van Thourhout
Zeger Hens
Günther Roelkens
Roel Baets
Explore further
Open the scid.ai AI chat with a ready-made request: it will find papers on a similar topic and help build a literature review.
Find similar papers in the chat
Make a presentation
100%