Лазерная интерференционная литография — метод изготовления управляемых периодических структур

Микроструктура определяет макроскопические функциональные свойства. Управляемая периодическая структура придает поверхности специфические функции, такие как управляемый структурный цвет, регулируемая смачиваемость, противообледенительные и противоизморозевые свойства, снижение трения и повышение твердости. В настоящее время существует множество управляемых периодических структур, которые могут быть изготовлены. Лазерная интерференционная литография (ЛИЛ) представляет собой метод, позволяющий просто, гибко и быстро изготавливать высокоразрешающие периодические структуры на больших площадях без использования масок. Различные условия интерференции позволяют получать широкий спектр световых полей. При экспонировании подложки с помощью системы ЛИЛ можно формировать разнообразные периодические текстурированные структуры, такие как периодические наночастицы, массивы точек, массивы отверстий и полосы. Метод ЛИЛ применим не только к плоским, но и к искривленным или частично искривленным подложкам благодаря большой глубине резкости. В статье рассматриваются принципы ЛИЛ и обсуждается влияние таких параметров, как пространственный угол, угол падения, длина волны и состояние поляризации, на интерференционное световое поле. Также представлены применения ЛИЛ для формирования функциональных поверхностей, включая просветление, управляемый структурный цвет, поверхностно-усиленное комбинационное рассеяние (SERS), снижение трения, супергидрофобность и биоклеточную модуляцию. Наконец, рассмотрены некоторые проблемы и вызовы, связанные с ЛИЛ и ее применением.