Микромеханический акселерометр, интегрированный с MOS-детектирующей схемой

Описан акселерометр на основе консольной балки, в котором малый консольный чувствительный элемент интегрирован и изготовлен совместно с MOS-детектирующей схемой. Общая площадь комбинации детектора и схемы составляет приблизительно 15000 µm² (24 mil²). В ходе всего технологического процесса применялись полностью совместимые и традиционные материалы и этапы обработки. Ускорения, направленные нормально к поверхности микрочипа, вызывают колебания консольной балки. Эти движения приводят к изменениям емкости, которые возбуждают простую MOS-детектирующую схему. Измеренные чувствительности составили примерно 2.2 mV/g ускорения, что соответствует движениям балки около 68 nm/g, при механической резонансной частоте балки 2.2 kHz. Эти результаты находятся в хорошем соответствии с подробными механическими расчетами и моделированием схемы.