Межцифровые конденсаторы с аэрозольно отложенным диэлектриком с высокой диэлектрической проницаемостью для достижения максимальной емкости в приложениях супермониторинга на основе емкостной сенсорики

Межцифровые конденсаторы (IDC) с аэрозольно отложенным (AD) диэлектриком с высокой диэлектрической проницаемостью были сравнены с помощью моделирования и измерений неэкранированных IDC и AD-IDC при комнатной температуре и после процесса отжига для применения в емкостной супермониторинге. IDC с тонкими AD-пленками обеспечивают более высокую емкость и улучшенные диэлектрические характеристики. Поэтому были изготовлены шаблоны IDC с AD-слоями высокой диэлектрической проницаемости при варьировании ширины «пальцев» и зазора. Мы проанализировали конструкцию микроструктуры слоев с помощью моделирования и экспериментов на образцах AD BaTiO3 в исходном состоянии и после отжига при 500 °C. Три различных типа IDC были измерены с помощью импедансного анализатора; помимо этого, пленки AD BaTiO3 оценивали методом рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Результаты показывают, что IDC с AD BaTiO3 демонстрируют наибольшую емкость по сравнению с другими тонкопленочными конденсаторами, что, как ожидается, будет полезно для реализации супермониторинга в будущем.