ПРИМЕНЕНИЕ ВИХРЕВЫХ ГЕНЕРАТОРОВ ПЕНЫ В АВТОМАТИЧЕСКИХ ЛИНИЯХ ФОТОЛИТОГРАФИИ С СИСТЕМАМИ УПРАВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ, ВКЛЮЧАЮЩИМИ ЭЛЕМЕНТЫ ИСКУССТВЕННОГО ИНТЕЛЛЕКТА И ИСКУССТВЕННЫЕ НЕЙРОННЫЕ СЕТИ

В данной работе рассмотрены вихревые генераторы пены, которые предлагается использовать в автоматических линиях фотолитографии для подготовки поверхности заготовок перед нанесением фоторезиста. Такой подход имеет сразу несколько преимуществ, наиболее важными из которых являются высокое качество очищения обрабатываемой поверхности, а также компактность вихревых генераторов пены, которая обеспечивает возможность включения в состав линии дополнительных инструментов, расширяющих ее функциональность. В статье подробно описывается принцип работы аэродинамических генераторов пены, их структурный состав, а также непосредственно способ аэродинамического генерирования пены. Рассматривается рабочая позиция линии фотолитографии на полупроводниковых пластинах, а также варианты интеграции в нее описываемого генератора пены. Особое внимание уделяется аргументации целесообразности применения именно этого устройства в автоматических линиях фотолитографии. Приводятся отличительные признаки вихревого генератора пены по сравнению с его аналогами в рамках поставленной задачи. Данное устройство способно поддерживать управление с помощью алгоритмов искусственного интеллекта и искусственных нейронных сетей. Это позволяет отрабатывать более сложные режимы управления по сравению с классическими схемами контроля подобными установками, а также повысить точность осуществляемых операций.