Влияние длины волны лазера на процесс сверления керамики с использованием лазера Nd:YAG

Лазерная микрообработка является перспективной технологией, способствующей миниатюризации компонентов и улучшению их эксплуатационных характеристик. Глиноземная керамика используется в микроэлектронике и при изготовлении печатных схем благодаря своим благоприятным диэлектрическим свойствам. Абляция обычно представляет собой сочетание испарения и выброса расплава. Лазерная обработка материалов эффективна, поскольку обеспечивает точный бесконтактный метод с малым тепловложением для формирования небольших отверстий с малой конусностью и гладкими стенками. В данной работе представлены результаты микросверления глиноземной керамики с использованием наносекундного лазера на различных длинах волн (532 нм и 355 нм) в вакууме и атмосферной среде. Исследовано влияние мощности, длины волны и давления окружающей среды на структуру кратеров.