Переходные отверстия из углеродных нанотрубок, изготовленные методом химического осаждения из паровой фазы с дистанционным плазменным возбуждением

Многостенные углеродные нанотрубки (УНТ) выращивали методом химического осаждения из паровой фазы с дистанционным плазменным возбуждением при температурах до 400 °C. При формировании переходных отверстий были выполнены селективный рост пучков УНТ в переходных отверстиях при температуре 430 °C и химико-механическая полировка для планаризации. Электрические измерения одиночных переходных отверстий с различными диаметрами показали, что сопротивление переходного отверстия обратно пропорционально его площади. Этот результат свидетельствует о том, что УНТ в переходных отверстиях различных диаметров выращиваются с однородными качеством и плотностью, а также формируются стабильные контактные соединения. Кроме того, сопротивления одиночных переходных отверстий приблизительно соответствуют сопротивлениям, рассчитанным по сопротивлениям цепочек переходных отверстий, что демонстрирует однородность переходных отверстий из УНТ от отверстия к отверстию, полученных методом химического осаждения из паровой фазы с дистанционным плазменным возбуждением.