Получение градиентного противоотражающего покрытия SiO2 методом ко-распыления с использованием двухвращающегося устройства
Preparation of a Gradient SiO2 Antireflective Coating by a Co-Sputtering Method Using a Dual Rotatable
2016-01-01
SCID: 54.1/ckegwgk7
Discuss with AI
Градиентное SiO2 антиотражающее покрытиесо-напылениедвойной вращающийся
Figures from the paper
Abstract (AI)
5 S.
Key Findings
1
Градиентное антирефлексное покрытие из SiO2 было приготовлено методом со-распыления с использованием двухвращающейся установки.
2
Предложенный способ изготовления позволяет сформировать слой SiO2 с градиентным показателем преломления за счёт со-распыления и управления вращением.
Research Object
Градиентное антирефлексное покрытие из SiO2, приготовленное методом со-напыления с использованием двухвращающейся (подложки или мишени) системы
Research Subject
Методика приготовления и получаемые антирефлексные оптические характеристики градиентного покрытия SiO2, сформированного методом со-напыления с двухвращающейся установкой
Publication Details
Publication Date
2016-01-01
Journal
Publisher
ISSN
Access Type
Author Information
Download PDF
Subscribe to digest