Широкополосная ахроматическая метаповерхностная линзовая решётка для интегральной визуализации в видимом диапазоне

A broadband achromatic metalens array for integral imaging in the visible
Lidan Zhou, Lin Liu, Jian‐Wen Dong, Hui Ren, Hao-Yang Qiu, Zhi-Bin Fan, Han-Le Zhang, Xiao-Ning Pang, Qiong‐Hua Wang
2019-07-23

ахроматический показатель преломленияширокополосная ахроматическая метаповерхностная линзовая матрицаинтегральная визуализациявнутрикристальная интеграция с КМОПметаллические линзы из нитрида кремния
Интегральная визуализация представляет собой перспективный метод трёхмерной (3D) визуализации, обеспечивающий захват и восстановление информации о световом поле. Для восстановления изображения и отображения трёхмерных сцен наблюдателю обычно используются массивы микролинз. Однако присущая массивам микролинз хроматическая аберрация снижает качество изображения, поэтому широкополосная ахроматическая визуализация остаётся сложной задачей для интегральной визуализации. В настоящей работе создан массив метаповерхностных линз из нитрида кремния, работающий в видимом диапазоне и предназначенный для восстановления трёхмерных оптических сцен методом ахроматической интегральной визуализации в белом свете. Массив содержит 60 × 60 нечувствительных к поляризации метаповерхностных линз с фокусировкой, близкой к дифракционному пределу. Наностойки в каждой метаповерхностной линзе с высокой эффективностью, составляющей в среднем 47% по результатам измерений, тщательно спроектированы так, чтобы обеспечивать нулевую эффективную материальную дисперсию и эффективное ахроматическое распределение показателя преломления в диапазоне от 430 до 780 нм. Кроме того, данный ахроматический массив метаповерхностных линз состоит всего из одного слоя нитрида кремния ультрамалой толщиной 400 нм, что делает его пригодным для гибридной интеграции с КМОП-схемами на кристалле и параллельного управления оптоэлектронной информацией. Ожидается, что эти результаты откроют возможности для полноцветной интегральной визуализации без аберраций, а предложенный подход потенциально может найти применение в высокомощной микролитографии, высокоточных датчиках волнового фронта, системах виртуальной и дополненной реальности, а также в трёхмерной визуализации.
1
Массив кремниевых нитридных металинз обеспечивает широкополосную ахроматическую интегральную визуализацию и реконструкцию трёхмерных оптических сцен в белом свете.
2
Специально спроектированные наностолбики обеспечивают нулевую эффективную материальную дисперсию и ахроматическое распределение показателя преломления в диапазоне 430–780 нм.
3
Массив состоит из одного слоя нитрида кремния толщиной 400 нм, что обеспечивает возможность интеграции с гибридными CMOS-схемами и параллельной обработки оптоэлектронной информации на кристалле.
4
Массив содержит 60 × 60 поляризационно-независимых металинз с фокусировкой, близкой к дифракционному пределу, во всём видимом диапазоне.
5
Средняя измеренная эффективность металинз составляет 47%.

массив металлических линз из нитрида кремния для интегральной визуализации в видимом диапазоне

широкополосная ахроматическая фокусировка и реконструкция трёхмерных сцен с уменьшенной хроматической аберрацией в диапазоне 430–780 нм

Publication Details
Publication Date
2019-07-23
Journal
Publisher
ISSN
Access Type
Author Information
Authors
Lidan Zhou
Lin Liu
Jian‐Wen Dong
Hui Ren
Hao-Yang Qiu
Zhi-Bin Fan
Han-Le Zhang
Xiao-Ning Pang
Qiong‐Hua Wang
Explore further
Open the scid.ai AI chat with a ready-made request: it will find papers on a similar topic and help build a literature review.
Find similar papers in the chat
Make a presentation
100%