Эффективная система скруббера Вентури для удаления субмикронных частиц из отходящих газов

Разработана и испытана эффективная система скруббера Вентури, использующая гетерогенную нуклеацию и конденсационный рост частиц, для удаления мелкодисперсных частиц из отходящих газов локального скруббера, в котором обезвреживался остаточный газ SiH4 и образовывалось большое количество мелкодисперсных частиц SiO2. Перед скруббером Вентури мелкодисперсный водяной туман нормальной температуры смешивается с высокотемпературным отходящим газом и охлаждает его до температуры насыщения, что позволяет субмикронным частицам увеличиваться до микронных размеров. Затем укрупнившиеся частицы эффективно улавливаются в скруббере Вентури. Результаты испытаний показывают, что предложенная система скруббера Вентури эффективна для удаления субмикронных частиц. Для частиц SiO2 размером более 0,1 мкм эффективность удаления превышает 80–90% в зависимости от концентрации частиц. Соответствующее падение давления относительно невелико. Например, падение давления в скруббере Вентури составляет приблизительно 15,4 ± 2,4 см H2O при отношении расхода жидкости к расходу газа 1,50 л/м3. Для моделирования процесса роста частиц и эффективности удаления в скруббере Вентури был выполнен теоретический расчет. Теоретические результаты достаточно хорошо согласуются с экспериментальными данными, когда диаметр частиц SiO2 превышает 0,1 мкм.