Периодическое поляризация KTiOPO4: от микрометровых до субмикрометровых решеток доменов
Periodic Poling of KTiOPO<sub>4</sub>: From Micrometer to Sub-Micrometer Domain Gratings
2006-09-01
SCID: 54.1/hbvfxzt2
Discuss with AI
электронно-лучевая литографияпериодическое поляризование KTPKTiOPO4Периодическое поляризованиеглубокая УФ-лазерная литографиярасширение доменоврешетки доменовKTP, выращенный из флюсаселективное поляризованиедоменные решетки субмикрометрового размера
Figures from the paper
Abstract (AI)
Описаны некоторые новые методы периодического поляризования фосфата титановокалия (KTiOPO4, KTP). Сделан акцент на способах предотвращения расширения и слияния доменов с учетом основных свойств KTP, выращенного из флюса. Для субмикрометровых структур образцы формировали с помощью электронно-лучевой литографии и глубокой УФ-лазерной литографии, а также применяли химические процессы для стимулирования селективного поляризования с целью получения высококачественных решеток доменов в образцах толщиной до 1 мм. Ключевые слова: KTP, периодическое поляризование, решетки доменов
Key Findings
1
Показано применение электронной литографии и глубокой УФ-лазерной литографии для формирования субмикрометровых структур для поляризования.
2
Разработаны химические процессы для селективного поляризования, позволяющие получать высококачественные доменные решетки в образцах толщиной до 1 мм.
3
Определено влияние исходных свойств KTP, выращенного из флюса, на расширение и слияние доменов и предложены способы их уменьшения.
4
Представлены новые методы периодического поляризования KTiOPO4 (KTP), направленные на предотвращение расширения и слияния доменов.
Research Object
Периодическое полярирование фосфата титано-калия (KTiOPO4, KTP) для формирования доменных решёток
Research Subject
Методы и технологические условия получения качественных доменных решёток в KTP с размером от микрометров до субмикрометров — предотвращение расширения и слияния доменов с использованием электронно-лучевой и глубоко-УФ литографии и селективного химического полярирования в образцах толщиной до 1 мм
Publication Details
Publication Date
2006-09-01
Journal
Publisher
ISSN
Access Type
Author Information
Download PDF
Subscribe to digest