ПРИМЕНЕНИЕ ВИХРЕВЫХ ГЕНЕРАТОРОВ ПЕНЫ В АВТОМАТИЧЕСКИХ ЛИНИЯХ ФОТОЛИТОГРАФИИ С СИСТЕМАМИ УПРАВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ, ВКЛЮЧАЮЩИМИ ЭЛЕМЕНТЫ ИСКУССТВЕННОГО ИНТЕЛЛЕКТА И ИСКУССТВЕННЫЕ НЕЙРОННЫЕ СЕТИ

В данной работе рассмотрены вихревые генераторы пены, предлагаемые для использования в автоматических линиях фотолитографии для подготовки поверхности заготовок перед нанесением фоторезиста. Такой подход имеет несколько преимуществ, наиболее важными из которых являются высокое качество очистки обрабатываемой поверхности и компактность вихревых генераторов пены, что обеспечивает возможность включения в состав линии дополнительных инструментов и расширения её функциональности. В статье подробно описывается принцип работы аэродинамических генераторов пены, их конструктивный состав и способ аэродинамического генерирования пены. Рассматривается рабочая позиция линии фотолитографии на полупроводниковых пластинах, а также варианты интеграции описываемого генератора пены в неё. Особое внимание уделено аргументации целесообразности применения именно этого устройства в автоматических линиях фотолитографии. Приведены отличительные признаки вихревого генератора пены по сравнению с аналогами в рамках поставленной задачи. Устройство способно поддерживать управление с помощью алгоритмов искусственного интеллекта и искусственных нейронных сетей, что позволяет реализовывать более сложные режимы управления по сравнению с классическими схемами контроля подобных установок и повышать точность выполняемых операций.